国家/地区 日本(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) C23(8) B01(4)
H01(4) B32(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/26(8)
发明人
公开年 2016(8)
申请年 2015(5)  2014(2) 
专利权人