国家/地区 世界知识产权组织(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) H01L(6) C01B(4)
B32B(2)
IPC C23C016/30(12)
发明人
公开年 2021(3) 2022(3) 2015(2)
申请年 2020(3)  2022(2) 
专利权人