国家/地区 中国(24) 韩国(6) 美国(6) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 德国(2)
IPC部 C(34)
IPC大类 C23(34)
IPC小类 C23C(34) C01B(10) H01M(5)
B22F(4) C22C(4) H01H(3)
H01J(3) B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/44(34)
发明人 MA Y(4) CAO H(3) LV X(3)
SHEN H(3) CHUNG J H(2) CONRAN B R(2)
HE X(2) HEE L(2) HYUN L J(2)
IMSUNGWOO(2) JEON Y M(2) JIN H(2)
LEE H S(2) LIM H H(2) LIM J(2)
公开年 2022(34)
申请年 2021(13)  2022(12)  2020(9) 
专利权人 SHANGHAI XIN.(4) ZHEJIANG CHI.(4) AIXTRON SE(2) CHANGZHOU 2D.(2)
DAEJOO ELECT.(2) SK ON CO LTD(2) TOKYO ELECTR.(2)