国家/地区 中国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) B22F(2) C01B(2)
G01L(2) H01L(2)
IPC C23C016/50(13)
发明人 WANG X(2) ZHANG Y(2)
公开年 2022(8) 2023(5)
申请年 2022(13)
专利权人 CHINESE ACAD.(2) UNIV ZHEJIAN.(2)