国家/地区 日本(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 B01(9)
IPC小类 B01J(9)
IPC C23C016/02(9)
发明人 MATSUMOTO T(3) IFUKU R(2)
公开年 2013(2) 2016(2)
申请年 2014(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(3) SAMSUNG ELEC.(2)