国家/地区 美国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15)
IPC C23C016/04(15)
发明人 NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(6) 2013(2) 2014(2)
申请年 2020(4)  2013(2)  2014(2)  2017(2)  2021(2) 
专利权人 LAM RES CORP(2)