国家/地区 |
美国(15)![]() |
IPC部 |
C(15)![]() |
IPC大类 |
C01(15)![]() |
IPC小类 |
C01B(15)![]() |
IPC |
C23C016/04(15)![]() |
发明人 | NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2) |
公开年 | 2021(6) 2013(2) 2014(2) |
申请年 | 2020(4) 2013(2) 2014(2) 2017(2) 2021(2) |
专利权人 | LAM RES CORP(2) |
MENTOVICH E, ATIAS B, NAVEH D, LEVI A, SMOLINSKY E Z B
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I
LOEBLEIN M, TSANG S H, TEO H T E, TSANG S, ZHANG H
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S