国家/地区 欧洲专利局(EPO)(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C30(16)
IPC小类 C30B(16) C01B(15) C23C(10)
B82Y(7) H01L(7) B32B(3)
B82B(2) C23F(2)
IPC C30B025/18(16)
发明人
公开年 2011(2) 2013(2) 2015(2) 2016(2) 2017(2) 2021(2)
申请年 2013(4)  2016(3)  2015(2)  2020(2) 
专利权人