国家/地区 日本(20)
IPC部 B(20)
IPC大类 B01(20)
IPC小类 C01B(20)
IPC C23C016/26(20)
发明人 MATSUMOTO T(3) BEDWORTH P V(2) CHOI K(2)
HEIGHT M(2) HEISE S E(2) IFUKU R(2)
PARK H(2) PARK H G(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2) ZHANG X(2)
公开年 2016(4) 2017(3) 2011(2) 2013(2) 2014(2) 2018(2) 2021(2)
申请年 2016(4)  2010(3)  2014(3)  2012(2)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(3) HEIQ MATERIA.(2) LOCKHEED MAR.(2) SAMSUNG ELEC.(2)