国家/地区 中国(19) 美国(9) 韩国(8) 世界知识产权组织(7) 日本(5) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 C(35)
IPC大类 C01(35) C23(35) H01(12)
B82(4) B01(2) B22(2)
B32(2) G01(2) G02(2)
IPC小类 C01B(35)
IPC C23C016/26(35)
发明人 SHIN H(5) BYUN K(4) BYUN K E(4)
SHIN H J(4) SHIN K(4) SHIN K W(4)
KIM C(3) LEE C(3) LEE C S(3)
SONG H(3) SONG H J(3) AHN S J(2)
AN S(2) CHENG J(2) CHO Y(2)
公开年 2020(35)
申请年 2019(17)  2020(13)  2018(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) KOREA INST S.(2) SIZU TECHNO .(2) TOKYO ELECTR.(2)
UNIV TIANJIN.(2) UNIV YANGZHO.(2)