国家/地区 美国(16) 日本(10) 世界知识产权组织(9) 中国(8) 欧洲专利局(EPO)(6) 韩国(6) 印度(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C01(18) H01(18) B82(8)
B32(4) C23(4) B01(2)
B05(2) C08(2) C30(2)
IPC小类 C01B(18)
IPC H01L021/02(18)
发明人 JEON I(2) JUNG S(2) SATO S(2)
公开年 2015(18)
申请年 2015(10)  2014(5)  2013(3) 
专利权人 FUJITSU LTD(3)