国家/地区 美国(9) 韩国(8) 中国(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 澳大利亚(3) 加拿大(2) 台湾(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C23C016/02(17)
发明人 NAGEL C J(3) SHIN H(3) BRODEUR C L(2)
BYUN K(2) BYUN K E(2) KIM C(2)
LEE C(2) LEE C S(2) LEE E(2)
SHIN H J(2) SHIN K(2) SHIN K W(2)
公开年 2021(13) 2020(4)
申请年 2020(17)
专利权人 QUANTUM ELEM.(3) SAMSUNG ELEC.(3)