国家/地区 中国(9) 美国(7) 日本(6) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18)
IPC C23C016/26(13) C30B029/02(12) C30B025/18(10)
C30B025/02(5) C01B032/15(4) C01B032/18(4)
C01B032/182(4) C23C016/02(4) C01B031/04(3)
C01B032/186(3) C23C014/06(3) C23C014/34(3)
C23C016/01(3) H01L021/02(3) C23C014/14(2)
发明人 AIDA H(4) AOTA N(4)
公开年 2017(9) 2016(6) 2018(2)
申请年 2016(18)
专利权人 NAMIKI SEIMI.(4)