国家/地区 中国(8) 美国(7) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 加拿大(2) 印度(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12)
IPC C30B029/02(8) C23C016/26(5) C01B032/186(4)
C23C016/02(4) C30B025/18(4) C23C014/18(3)
C23C014/30(3) C23C014/35(2) C23C014/58(2)
C23C016/04(2) C23C016/34(2) C23C016/455(2)
C23C016/50(2) C30B025/02(2) C30B029/38(2)
发明人 HU J(2) HU Y(2) LI P(2)
PAN M(2) PENG J(2) QIU W(2)
公开年 2021(7) 2020(5)
申请年 2020(12)
专利权人 UNIV NAT DEF.(2)