国家/地区 中国(38)
IPC部 C(38)
IPC大类 C30(38) H01(12) C23(11)
C01(8) C09(2) H05(2)
IPC小类 C30B(38)
IPC C30B025/18(15) C30B029/02(13) C30B029/40(10)
H01L021/02(9) C30B025/00(6) C30B025/16(6)
C23C016/26(5) C30B029/04(4) C23C014/35(3)
C23C016/02(3) C30B033/12(3) C01B032/186(2)
C01B032/19(2) C01B032/194(2) C23C014/06(2)
发明人 ZHANG J(4) CHEN Y(3) LI L(3)
LI Y(3) WANG X(3) YANG J(3)
BEN J(2) GUO Y(2) HE Y(2)
JIANG K(2) LI D(2) LI J(2)
LIU F(2) LIU Z(2) LUO G(2)
公开年 2022(25) 2023(13)
申请年 2022(38)
专利权人 BEIJING TONG.(2) CHANGCHUN IN.(2) SHANGHAI INS.(2) UNIV PEKING(2)