国家/地区 韩国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13) H01(9) C01(8)
C23(3) B01(2) B82(2)
H05(2)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B025/18(7) H01L021/02(7) C01B032/186(5)
C30B029/02(5) C30B029/38(3) C30B029/64(3)
H01L033/00(3) B82Y040/00(2) C01B032/182(2)
C01B032/184(2) C01B032/194(2) C23C016/02(2)
C23C016/34(2) C30B001/02(2) C30B025/04(2)
发明人 FIMLAND B M(2) MANCEVSKI V(2) MUNSHI M(2)
VLADIMIR M(2) WEMAN H(2)
公开年 2021(13)
申请年 2020(9)  2019(2)  2021(2) 
专利权人 CRAYONANO AS(2) UNIV HANYANG.(2) UNIVERSAL MA.(2)