国家/地区 中国(7) 美国(5) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) 德国(2) 英国(2) 波兰(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(17) C01B(11) B82Y(5)
B32B(3) C30B(2) G01N(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(11) C01B031/04(7) B82Y040/00(5)
B82Y030/00(4) C01B031/02(4) C23C016/01(3)
C23C016/56(3) B32B009/00(2) C01B032/16(2)
C01B032/168(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
C23C014/06(2) C23C016/44(2) C23C016/455(2)
发明人
公开年 2016(18)
申请年 2014(18)
专利权人