国家/地区 中国(10) 美国(8) 日本(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 韩国(3) 新加坡(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C23(16) C01(11) H01(5)
B82(3) A61(2) C25(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(16) C01B(11) H01L(4)
B82Y(3) C25B(2) C30B(2)
IPC C23C016/01(16)
发明人
公开年 2017(16)
申请年 2016(10)  2017(5) 
专利权人