国家/地区 韩国(14) 美国(14) 中国(7) 世界知识产权组织(7) 印度(5) 日本(2)
IPC部 C(34)
IPC大类 C01(34)
IPC小类 H01L(34)
IPC C01B032/186(13) C23C016/26(12) H01L021/02(12)
B82Y030/00(7) B82Y040/00(7) C01B032/182(7)
C23C016/02(7) H01L021/285(6) H01L021/768(6)
H01L023/532(6) H01L029/16(5) C01B032/184(4)
C01B032/198(3) C23C016/01(3) C23C016/455(3)
发明人 SHIN K(4) SHIN K W(4) LEE C(3)
LEE C S(3) BYUN K(2) BYUN K E(2)
ELSAYED K A M(2) JUNG A(2) JUNG A R(2)
KIM K(2) LEE K(2) MAAROUF A A(2)
SHIN H(2) SHIN H J(2)
公开年 2023(34)
申请年 2022(20)  2021(11)  2023(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) UNIV IMAM AB.(2) UNIV SEOUL N.(2)