国家/地区 美国(101)
IPC部 C(101)
IPC大类 C23(101) H01(63) C01(38)
B82(15) C25(13) B01(12)
C30(9) C09(8) B05(7)
B22(7) H05(7) G01(6)
B32(5) C08(5) B33(4)
IPC小类 C23C(101)
IPC C23C016/26(35) C23C016/02(21) H01L021/02(20)
C23C016/44(16) C01B032/186(15) C23C016/04(15)
C23C016/455(15) B82Y030/00(14) C01B032/194(14)
B82Y040/00(11) C23C016/56(11) C23C016/30(10)
C23C014/06(9) C23C016/34(9) C23C016/505(9)
发明人 SHIN H(6) SHIN H J(6) BYUN K(5)
BYUN K E(5) LEE C(5) LEE C S(5)
LEE E(4) NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
GLASS H(3) GUINEY I(3) IFUKU R(3)
KUBO T(3) MATSUMOTO T(3) SHEN X(3)
公开年 2021(101)
申请年 2020(56)  2021(37)  2019(8) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(8) QUANTUM ELEM.(4) TOKYO ELECTR.(4) UNIV SUNGKYU.(4)
APPLIED MATE.(3) PARAGRAF LTD(3) YAZAKI CORP(3) KOREA INST S.(2)
LAM RES CORP(2) NAT INST ADV.(2) UNIV JIANGSU(2) UNIV SINGAPO.(2)