国家/地区 中国(7) 美国(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(11)
IPC大类 B23(11)
IPC小类 C23C(11) B23K(9) C01B(5)
B01J(2) B82Y(2) C09K(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(11)
发明人 FENG J(2)
公开年 2022(3)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人 HARBIN INST .(2)