| 国家/地区 | 美国(10) 中国(8) 韩国(7) 日本(4) 世界知识产权组织(4) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 |
C(17)
H(8)
B(5)
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| IPC大类 |
C01(17)
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| IPC小类 |
C23C(17)
C01B(16)
H01L(7)
B82Y(4) C30B(3) C01G(2) |
| IPC |
C23C016/02(17)
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| 发明人 | WANG X(2) |
| 公开年 | 2021(10) 2022(4) 2023(3) |
| 申请年 |
2021(17)
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| 专利权人 |
LEE C, JUNG A, SHIN H, SHIN K, SHIN K W, SHIN H J, JUNG A R, LEE C S
KRAUS P A, NGUYEN H, MEBARKI B, WANG C, VALENCIA C, CHUA T C
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
KIM B J, CHOI J, CHOI J Y, JUN K
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
