国家/地区 美国(10) 中国(8) 韩国(7) 日本(4) 世界知识产权组织(4) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(17) H(8) B(5)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C23C(17) C01B(16) H01L(7)
B82Y(4) C30B(3) C01G(2)
IPC C23C016/02(17)
发明人 WANG X(2)
公开年 2021(10) 2022(4) 2023(3)
申请年 2021(17)
专利权人