国家/地区 韩国(8) 中国(7) 美国(7) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 德国(2) 台湾(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C23C(13) C01B(12) H01M(4)
B82Y(3) C01F(2) C01G(2)
H01L(2)
IPC C23C016/44(13)
发明人 HEE L(2) HYUN L J(2) IMSUNGWOO(2)
JEON Y M(2) LEE H S(2) LI X(2)
LIM H H(2) LIM J(2) LIM J C(2)
LIM S W(2) PARK J G(2)
公开年 2021(6) 2022(5) 2023(2)
申请年 2021(13)
专利权人 DAEJOO ELECT.(2) UNIV SINGAPO.(2)

LIM J C, LEE J, JEON Y M, LIM S W, PARK J G, LEE H S, LIM H H, NAM S J, LEE E, LIM J, HYUN L J, IMSUNGWOO, HEE L, JIN N, PARK S