国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B031/02(7) C01B031/04(5) C23C016/26(5)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) H01L021/02(3)
H01L021/205(3) H01L029/16(3) C01B032/00(2)
C23C016/56(2) H01B001/04(2) H01G011/22(2)
H01L021/04(2) H01L021/20(2) H01L029/06(2)
发明人
公开年 2012(6) 2013(3)
申请年 2012(9)
专利权人