国家/地区 美国(11) 世界知识产权组织(7) 欧洲专利局(EPO)(6) 中国(4) 日本(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C23(17)
IPC小类 C23C(17) C01B(9) H01L(8)
H01B(6) B82Y(4) H01M(4)
H01J(2)
IPC C23C016/26(17)
发明人
公开年 2017(8) 2018(7) 2019(2)
申请年 2017(17)
专利权人