国家/地区 美国(33)
IPC部 C(33)
IPC大类 C23(33)
IPC小类 C23C(30) C01B(18) B82Y(10)
H01L(9) H01B(5) B01J(4)
G01N(4) H01M(4) C01G(3)
C23F(3) C30B(3) B32B(2)
C09K(2) G01J(2) H01J(2)
IPC C23C016/26(21) C01B032/186(12) C01B032/182(10)
B82Y030/00(8) B82Y040/00(8) C23C016/02(7)
C23C016/46(6) H01L021/02(6) C01B032/184(5)
C01B032/194(5) C23C016/56(5) H01B001/04(5)
H01L029/16(5) C23C016/54(4) H01B013/00(4)
发明人 IFUKU R(2) LAI C(2) MATSUMOTO T(2)
PARK J(2) TZENG Y(2)
公开年 2018(18) 2017(13) 2019(2)
申请年 2017(33)
专利权人 TOKYO ELECTR.(2) UNIV NAT CHE.(2)