国家/地区 中国(9) 美国(6) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 墨西哥(2)
IPC部 B(14) C(14) H(6)
A(4) G(2)
IPC大类 B82(14)
IPC小类 B82Y(14) C23C(14) C01B(9)
H01L(4) B01J(3) G01N(2)
H01J(2)
IPC B82Y030/00(14)
发明人 LI K(2) LI Z(2) LIU X(2)
SONG G(2)
公开年 2017(10) 2016(4)
申请年 2016(14)
专利权人 UNIV QINGDAO.(2)