| 国家/地区 | 美国(8) 中国(7) 日本(5) 韩国(3) 台湾(3) |
| IPC部 |
B(10)
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| IPC大类 |
C01(10)
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| IPC小类 |
C01B(10)
C23C(9)
B82Y(6)
B01J(3) H01L(2) |
| IPC |
C01B032/186(10)
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| 发明人 | LIU P(2) |
| 公开年 | 2018(7) 2017(2) |
| 申请年 |
2017(10)
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| 专利权人 |
KATAGIRI M, SAITO T, SAKAI T, MIYAZAKI H
LIU P, ZHAO W, WANG J, JIANG K, FAN S
YANASE Y, YANASE M, LIANG L
WANG Y, JIN M, YING R
ZHANG K, SONG R, LIU P, LI W, CHEN X, MA F, HE D, LIU X
KIM Y K, YONG K K, KIM Y, KI K Y
WANG H, CHEN L, HE L, XIE H, WANG X, XIE X
