国家/地区 |
中国(14)![]() |
IPC部 |
C(14)![]() |
IPC大类 |
C23(14)![]() |
IPC小类 |
C23C(14)
H01L(4)
C01B(2)
C04B(2) |
IPC |
C23C014/08(14)![]() |
发明人 |
CHEN X(2)
LI J(2)
LIU H(2)
|
公开年 |
2022(14)![]() |
申请年 | 2022(8) 2021(5) |
专利权人 |
LAN S, HU P, JIANG T, BI F, LI H
ZHAO J, GU J, DOU S, WEI H, LI Y
YE J, LI T, WANG L, LUO M, JIANG L, LI Z, LIU H, LI S, LIU W, LV Z, MI J, HAO L, YU Q, WANG W
CHEN X, HOU M, YAN L, XIE B, GUO Y, CHEN Y
FU Y, WEI K, HAN Z