国家/地区 美国(14)
IPC部 C(14) H(8) B(3)
G(2)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(7) C30B(3)
H01J(3) B82Y(2) H01L(2)
H01M(2)
IPC C23C014/14(14)
发明人 KIM J(2) LEE J(2) LIN Y(2)
公开年 2021(4) 2015(2) 2017(2)
申请年 2016(4)  2020(3)  2013(2) 
专利权人