国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) B82Y(3) G01N(3)
C01B(2)
IPC C23C014/16(9)
发明人 ZHANG J(3) SHI G(2) ZHANG X(2)
公开年 2020(3) 2022(3)
申请年 2020(3)  2022(3) 
专利权人 UNIV CHANGCH.(2)