国家/地区 韩国(16)
IPC部 C(16) B(12) H(10)
G(2)
IPC大类 C23(16)
IPC小类 C23C(16) C01B(12) H01L(8)
B82Y(6) B32B(5) C30B(4)
B01J(3) C23F(2) C25D(2)
G01N(2) H01B(2)
IPC C23C016/01(16)
发明人 BAE S K(2) CHO S M(2) KIM J(2)
公开年 2016(5) 2017(3) 2021(3)
申请年 2016(4)  2014(3)  2011(2)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 EV GROUP THA.(2) HANWHA TECHW.(2)