国家/地区 中国(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(12) B82Y(11)
H01L(4) B32B(3) C30B(3)
B01J(2)
IPC C23C016/26(14)
发明人 KIM H(2)
公开年 2012(7) 2013(7)
申请年 2012(14)
专利权人 HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG TECH.(2) UNIV SUNGKYU.(2)