国家/地区 中国(12) 美国(9) 韩国(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 C(21)
IPC大类 C23(21)
IPC小类 C23C(21) C01B(8) H01L(6)
B82Y(4) C03C(2) G01N(2)
H01G(2)
IPC C23C016/44(21)
发明人 ZHANG Z(2)
公开年 2014(10) 2013(8) 2015(3)
申请年 2013(21)
专利权人 KOREA ADVANC.(2)

BIRIS A R, COROS M, LAZAR D M, POGACEAN F, PRUNEANU S M