国家/地区 | 中国(12) 美国(9) 韩国(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(3) |
IPC部 |
C(21)![]() |
IPC大类 |
C23(21)![]() |
IPC小类 |
C23C(21)
C01B(8)
H01L(6)
B82Y(4) C03C(2) G01N(2) H01G(2) |
IPC |
C23C016/44(21)![]() |
发明人 | ZHANG Z(2) |
公开年 | 2014(10) 2013(8) 2015(3) |
申请年 |
2013(21)![]() |
专利权人 | KOREA ADVANC.(2) |
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
BIRIS A R, COROS M, LAZAR D M, POGACEAN F, PRUNEANU S M
AHN C W, KANG I S, SHIN Y H, YOO K
JIN H, LIU Z, PENG P, YANG H, ZHANG Z, ZHOU Z
OZKAN C S, OZKAN M, GUVENC A B, PAUL R K, LIN J, GHAZINEJAD M, PENCHEV M, GUO S, ZHONG J, HAYASHI K
MOON J, RHO J, PARK S, KIM T, HONG B, PARK W, JUNG M, KIM T H, ROH J