| 国家/地区 | 中国(9) 韩国(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(13)
H(3)
B(2)
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| IPC大类 |
C23(13)
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| IPC小类 |
C23C(13)
C01B(5)
H01L(2)
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| IPC |
C23C016/44(13)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2020(13)
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| 申请年 | 2019(7) 2020(4) 2018(2) |
| 专利权人 |
YANG C M, JO A, KIM S Y, RYU J S, LEE M W, MINGOOK K, NA W
FENG Y, JU J, CHEN L, BIAN F, RAN W
LI L, ZANG Y, CHEN H, HU J, LIN S, ZHANG G, PU H, FENG X, SONG L, TU Z, LI Z, XU Y, WANG R
ZHANG B, HAN Y, GUO X, SUN W, JIANG H, SHI H, LI C
