国家/地区 中国(9) 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(13) H(3) B(2)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) C01B(5) H01L(2)
IPC C23C016/44(13)
发明人
公开年 2020(13)
申请年 2019(7)  2020(4)  2018(2) 
专利权人