国家/地区 美国(9) 韩国(7) 中国(6) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 台湾(3) 法国(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14)
IPC C01B031/04(7) C23C016/26(6) C01B031/02(5)
H01L021/02(4) B82Y030/00(3) C23C014/06(3)
C23C016/56(3) H01L021/20(3) B05D003/02(2)
B05D003/06(2) B05D003/10(2) B05D005/12(2)
B32B009/00(2) B82Y040/00(2) C23C014/24(2)
发明人 LI C(2) LI X(2) WANG K(2)
WEI J(2) WU D(2) ZHU H(2)
公开年 2010(14)
申请年 2009(8)  2010(5) 
专利权人 UNIV TSINGHU.(2)