国家/地区 中国(11) 美国(3) 韩国(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13)
IPC C30B029/40(13)
发明人 CHEN Z(2) HAO Y(2) NING J(2)
WANG D(2) ZHANG J(2)
公开年 2022(5) 2021(4) 2020(2)
申请年 2021(4)  2019(3)  2022(3) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) UNIV XIDIAN(2)