国家/地区 中国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14)
IPC C30B025/18(5) C23C014/35(4) C23C016/26(4)
C30B029/02(4) C30B029/40(4) C23C014/18(3)
H01L021/02(3) C04B041/87(2) C23C014/54(2)
C23C014/58(2) C23C016/02(2) C23C016/44(2)
C23C016/52(2) C23F001/18(2) C30B015/00(2)
发明人 CHANG K(2) CHEN K(2) FENG H(2)
TANG J(2) WANG H(2) YANG Y(2)
ZHANG J(2)
公开年 2021(6) 2022(6) 2023(2)
申请年 2021(14)
专利权人 UNIV HENAN(2)