国家/地区 |
日本(11)![]() |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C23(11)![]() |
IPC小类 |
C23C(11)
C01B(7)
H01L(7)
B32B(5) H01B(4) B82Y(2) H01M(2) |
IPC |
C23C014/06(11)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) 2013(2) 2016(2) |
申请年 | 2013(2) 2018(2) 2020(2) |
专利权人 | FUJITSU LTD(2) |
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K