国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B82(8)
IPC小类 B82B(8)
IPC B82B003/00(7) C23C016/26(7) B82Y040/00(6)
C01B031/02(5) B82Y030/00(4) C01B031/04(4)
B32B009/00(3) B82B001/00(3) B82Y010/00(3)
C01B032/186(3) H01L021/02(3) H01L029/06(3)
H01L029/16(3) B05D001/02(2) B32B038/10(2)
发明人 CHOI J(2)
公开年 2013(4) 2012(3)
申请年 2012(8)
专利权人