国家/地区 美国(29) 韩国(21) 世界知识产权组织(19) 中国(17) 欧洲专利局(EPO)(14) 日本(10) 台湾(7) 德国(3) 澳大利亚(2) 英国(2) 新加坡(2)
IPC部 C(37)
IPC大类 C01(37)
IPC小类 C01B(37)
IPC C23C016/46(37)
发明人 WON D K(4) THOMAS S(3) GUINEY I(2)
JOUVRAY A(2) LEE J(2) TEO K B K(2)
VAN RIJN R(2) WON D(2)
公开年 2012(6) 2015(6) 2013(4) 2014(4) 2021(4) 2017(3) 2018(3) 2016(2) 2020(2)
申请年 2013(7)  2014(7)  2017(5)  2021(4)  2011(3)  2020(3)  2012(2)  2015(2)  2016(2) 
专利权人 SAMSUNG TECH.(4) HANWHA TECHW.(3) AIXTRON SE(2) KOREA INST S.(2)
PARAGRAF LTD(2) RIJKSUNIV LE.(2)