国家/地区 美国(17)
IPC部 C(17) H(10) B(7)
F(2) G(2)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C23C016/26(10) C01B032/186(6) C01B032/194(5)
C23C016/02(5) C23C016/44(5) C23C016/04(4)
B82Y030/00(3) C01B032/182(3) C23C016/32(3)
C23C016/34(3) C23C016/50(3) C23C016/56(3)
H01L021/02(3) B01J037/02(2) B82Y040/00(2)
发明人 BYUN K(2) BYUN K E(2) KIM S(2)
LEE C(2) LEE C S(2) LEE E(2)
SHIN H(2) SHIN H J(2)
公开年 2021(17)
申请年 2021(17)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SINGAPO.(2)