国家/地区 中国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(14) H01L(4) C01B(2)
C04B(2)
IPC C23C014/08(14)
发明人 CHEN X(2) LI J(2) LIU H(2)
公开年 2022(14)
申请年 2022(8)  2021(5) 
专利权人