国家/地区 日本(11)
IPC部 B(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11) B82Y(9) C01B(9)
B05D(6) H01L(6) B32B(4)
B01J(3) B44C(2) H01B(2)
IPC B82Y030/00(8) C01B031/02(8) C01B031/04(8)
C23C016/26(8) B82Y040/00(7) C01B032/186(3)
B05D003/02(2) B05D007/14(2) B32B009/00(2)
B32B015/04(2) C01B032/184(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
发明人 BAE S K(2) CHUNG H(2) CHUNG H J(2)
HEO J(2) HEO J S(2) HUH J(2)
HUH J S(2) JUNG H(2) JUNG H J(2)
KANG S(2) KANG S R(2) SEO D(2)
SEO S(2) SEO S A(2) WOO Y(2)
公开年 2011(9) 2010(2)
申请年 2010(11)
专利权人 JAPAN SCI TE.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)

BAE S, CHUNG H, HEO J, JUNG M, KANG S, SEO D, SEO S, WOO Y, BAE S K, CHUNG H J, HEO J S, JUNG M H, KANG S R, SEO S A, WOO Y S, JUNG H J, HUH J S, YEO R, HUH J, JUNG H

AGO HIROKI, ITO YOSHITO, TANAKA IZUMI, MIZUNO SEIGI, TSUJI MASAHARU, AGO H, ITO Y, TANAKA I, MIZUNO S, TSUJI M, MIZUNO K