国家/地区 日本(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8) C30B(8) C23C(6)
B82Y(4) H01L(3) B01J(2)
IPC C01B032/182(8)
发明人 WANG H(2) XIE H(2) XIE X(2)
公开年 2011(2) 2015(2) 2017(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(2)