国家/地区 美国(16) 世界知识产权组织(11) 韩国(10) 中国(8) 欧洲专利局(EPO)(8) 日本(8) 台湾(5) 法国(2) 英国(2) 印度(2)
IPC部 B(18)
IPC大类 C30(18)
IPC小类 C30B(18) H01L(18) B82Y(14)
C01B(13) C23C(8) B32B(7)
B82B(4) H01B(3) B05D(2)
C23F(2) C25D(2)
IPC H01L021/02(18)
发明人 BERRY V(2) SEACRIST M R(2)
公开年 2013(7) 2011(2) 2014(2)
申请年 2012(6)  2009(2)  2013(2)  2014(2)  2020(2) 
专利权人 MEMC ELECTRO.(2) SUNEDISON SE.(2) UNIV KANSAS .(2)