国家/地区 中国(8) 日本(2) 美国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9)
IPC小类 C30B(9) C01B(3) C23C(2)
H01L(2)
IPC C30B025/18(4) C30B029/02(3) C30B029/64(3)
C23C016/26(2)
发明人 LI Z(2) ZHANG Y(2)
公开年 2017(9)
申请年 2017(9)
专利权人 UNIV PEKING(2)