国家/地区 美国(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 B01(10)
IPC小类 B01J(10)
IPC C23C016/56(10)
发明人 BEDWORTH P V(2) CHOI J(2) CHOI J Y(2)
HEISE S E(2) IFUKU R(2) MATSUMOTO T(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(2) 2021(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2) SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2)