国家/地区 欧洲专利局(EPO)(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 B82(10) C01(10) C08(4)
H01(3) B05(2) B32(2)
C07(2) C09(2) C23(2)
C25(2)
IPC小类 B82B(10)
IPC B82B003/00(9) B82Y030/00(8) B82Y040/00(7)
C01B031/02(7) C01B031/04(7) B82B001/00(5)
C01B031/00(4) B82Y010/00(3) C01B032/184(3)
H01L021/02(3) H01L029/16(3) B82B000/00(2)
B82Y099/00(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
发明人
公开年 2012(5) 2013(5)
申请年 2012(10)
专利权人