国家/地区 美国(22) 中国(21) 世界知识产权组织(19) 日本(13) 韩国(13) 欧洲专利局(EPO)(9) 英国(3) 台湾(3) 德国(2) 新加坡(2)
IPC部 C(36)
IPC大类 C01(36) C23(14) H01(13)
B82(8) B01(7) B32(5)
C30(3) C08(2) C09(2)
C25(2) G01(2)
IPC小类 C01B(36)
IPC C01B032/186(36)
发明人 ZHANG X(4) BI H(3) HUANG F(3)
DENG K(2) JOUVRAY A(2) KIM H(2)
LI Z(2) LIU Z(2) TEO K B K(2)
YANG H(2) ZHANG W(2) ZHANG Y(2)
ZHANG Z(2)
公开年 2015(22) 2014(7) 2016(7)
申请年 2014(36)
专利权人 SHANGHAI INS.(3) AIXTRON SE(2) CHANGZHOU 2D.(2) NAT INST ADV.(2)