国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) H01(12) B82(5)
C23(3)
IPC小类 C01B(12)
IPC H01L021/02(12)
发明人 DENG P(7) GUO H(7) LEI T(7)
ZHANG K(7) ZHANG Y(7) ZHANG F(5)
公开年 2012(11)
申请年 2012(12)
专利权人 UNIV XIDIAN(7)